高・強誘電体の電極材料(Ru、Ir)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
(Ba,Sr)TiO_3,(Pb,Zn)TiO_2の高・強誘電体材料をDRAH,FRANのキャパシタに応用するとき、従来のシリコン酸化膜及び窒化膜を用いたキャパシタとは異なり、ポリシリコン,TiN,AIなどを直接、電極に用いることは難しい。これは、高・強誘電体と電極間に誘電率の低い酸化物が生成して、全体の誘電率を低下させるためである。電極に要求される特性として、(1)耐酸化性があるか、あるいは酸化されても導電性があること、(2)酸素拡散のバリア性があること、(3)高・強誘電体と反応しないこと,などが挙げられる。今回、電極材料としてRuとIrを成膜したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05