電界放出型低電圧駆動エミッタアレイの構造
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概要
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クウォータ一ミクロンサイズのゲート-エミッタ間距離を持つフィールドエミッションデバイスを作製した。ゲート電極とエミッタ先端との距離は、マスク寸法により決定するのではなく、ゲート電極膜を形成する際の形成方法と絶縁層に用いる熱酸化膜の厚さにより決めている。このプロセスは、従来法がそのまま適用できる簡単なものである。これにより、試作したデバイスのゲートとエミッタの二極管構造の電流-電圧特性を測定し、Fowler-Nordheim理論によるF-Nプロットから電界放出特性を評価した。このことから、低電圧駆動特性を示す電界放出エミッタアレイの動作を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05