シンプルプロセストランジスタの回路シミュレーションモデリング
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概要
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LOCOS等の酸化膜を用いず、イオン注入によるPN接合だけを用いて素子分離をおこなうプロセスがある。構造が単純であることから、シンプルプロセスと呼んでいる。 本報告では、シンプルプロセスのトランジスタに対する回路シミュレーション用モデリング方法について述べる。
- 1997-08-13
著者
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鈴木 成次
シャープ株式会社ic開発本部設計技術開発センター
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田中 隆吉
シャープ株式会社 Icシステム開発センター
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森川 佳直
シャープ株式会社 メモリー技術センター
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中林 啓司
シャープ株式会社 ICシステム開発センター
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Barker G.J.
シャープ株式会社 ICシステム開発センター