順次走査型M-FIT CCDイメージセンサ : ワイドビジョン対応2/3インチ52万画素CCD
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概要
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Multiple Frame-Interline-Transfer(M-FIT)という新しい方式に基づく順次走査対応のCCD固体撮像子について述べる。従来の順次走査CCDは垂直CCDを倍密度にして全面素の読みだしを行なっていたが、この方法では著しくダイナミックレンジ等の撮像特性が劣化するうえに複雑な3層ポリシリコンプロセスを必要とした。今回のM-FIT方式では、受光部の信号電荷を複数回に分割して蓄積部に転送することにより垂直CCDを有効に活用することができる。この結果、高感度、広ダイナミックレンジ、低スミアが実現でき、また簡便な2層ポリシリコンプロセスで製作可能という利点を有する。試作したワイドビジョン対応2, 3インチ52万画素CCDは感度25nA/lx、ダイナミックレンジ80dB、スミアー135dBという放送用カメラとして、十分な特性が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-10-22
著者
-
尾崎 正義
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
豊田 泰之
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
信定 俊英
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
斉藤 幸男
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
国仙谷 昇
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
田中 宏典
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
板倉 啓二郎
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
永吉 良一
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
斎藤 幸男
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
永吉 良一
松下電子工業株式会社
-
国仙 谷昇
松下電子工業(株)電子総合研究所
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