「半導体製造プロセス大規模シミュレーション実験(Virtual Wafer Fab.)の展開」 : TCADドリブンECADによる効率的開発支援システムの構築

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概要

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• 半導体製造プロセス/デバイスのシミュレーション実験を効率的に実行する仮想試作システムvwfが必要である. これまでの経緯と実現したキー技術, および適用例について述べる. さらに, LSI開発フローの中へ展開するための拡張部分について説明し, 今後必要なことを議論する. 1.commercialシミュレータの過去と現状 2.vwfの思想と, 適用カテゴリ 3.vwfの実例 4.TCADドリブンECADとLSI開発フローの各項目を含む.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-09-25

著者

• Mueller Stephan

  シルバコジャパン

• Pesic Ivan

  シルバコジャパン

• 蒲原 格

  シルバコジャパン

• Strachan Andy

  シルバコジャパン

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