走査型レーザ顕微鏡によるコンタクト表面の形状評価
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概要
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走査型レーザ顕微鏡を利用して,直流微小負荷電流を開閉動作した信号用電磁リレーのコンタクト表面形状の計測を試みた.その結果,従来の測定方法では困難であったコンタクト表面の突起高さや消耗痕深さ,移転体積が,容易にかつ非接触で評価できることが実証された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-11-25
著者
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