EuBa_2Cu_3O_<7-x>薄膜を用いた段差形接合の作製とその特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
結晶粒界を利用した弱結合(weak link)形の接合の一つである段差形ジョセフソン接合(段差形接合)の作製方法について,段差形成法の違いによるMgO基板の段差構造および接合の電気特性について検討した.レジストマスク法と新たに用いたTaマスク法により段差を形成し,その上にEuBa_2Cu_3O_<7-x>超伝導薄膜(EBCO)を成膜し接合を作製した.Taマスク法は,シャドーイングの影響とマスクの後退を防止できるため,急しゅんな段差構造を得ることができた.このTaマスク法によって作製した接合では,加工後に特別な熱処理を行わずに,液体窒素温度(77K)でACジョセフソン効果を示した.段差形接合は20K以下の低温においと,臨界電流密度(Jc)が10^3-10^4A/cm^2範囲の値をもつときにのみACジョセフソン効果が現れた.また,12GHzのマイクロ波照射によって誘起されたシャピロステップは24次まで観測され,臨界電流の磁界依存性においてはフラウンホーファーパターンが得られた.
- 1993-06-25
著者
関連論文
- 29p-BPS-48 GaAs/SrF_2/EuBa_2Cu_3O_の界面反応
- 30p-L-7 EuBa_2Cu_3O_y薄膜における粒子線照射効果
- 15p-E-1 酸化物超伝導薄膜の結晶構造のイオン照射効果
- 27a-PS-49 酸化物超伝導体のピニング特性のHeイオン照射効果
- 4a-PS-18 Ga,AS/EuBa_2Cu_3O_(001)の初期吸着過程
- 1a-D-10 高温超伝導体のイオン照射効果 III
- 25p-H-1 EuBa_2Cu_3O_xのイオン照射効果
- EuBa_2Cu_3O_薄膜を用いた段差形接合の作製とその特性
- 高温超伝導の研究
- 高温超伝導小形アンテナのクエンチ特性
- 弱結合アレイ素子のマイクロ波特性
- 段差型ジョセフソン素子のマイクロ波ビデオ検波
- 31p-TD-5 Y系酸化物超伝導薄膜のエピタキシャル成長
- 14p-E-4 非線形帯磁率による非可逆曲線I
- 反応性マグネトロンスパッタ法