集積化相対圧用容量形圧力センサの試作
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概要
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静電容量式の相対圧検出部と容量検出回路とを集積化した圧力センサを試作し,諸特性の測定を行った.また,相対圧用センサの場合に問題となる湿度の影響を少なくする方法について検討し,試作回路で湿度の影響を抑えられることを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-01-25
著者
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