LF/HF帯インピーダンス・アナライザを用いたゲート酸化膜の評価法
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概要
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近年、ゲート酸化膜の薄膜化によりリーク電流が増大し、ゲート酸化膜の容量測定を正確に行うことができないといった問題が発生している。こうした問題を解決するためには、リーク電流による損失が最小となる高周波での測定が必要となる。しかしながら、従来のLCRメータ等による1MHz程度のC-V測定ではこうした測定を行うことはできない。さらに、高周波でゲート酸化膜の評価を行う場合には、測定器の選択だけではなく、測定システムの構築においても注意が必要となる。本稿では、LF/HF帯インピーダンス・アナライザを用いたゲート酸化膜の評価方法および測定システムを構築する際に考慮すべき点について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-06-13