キンヒドロン/メタノール溶液処理によるシリコン基板の表面パッシベーション

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概要

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シリコン基板のライフタイム測定における新しい表面パッシベーション技術として、キンヒドロン/メタノール溶液処理を提案し、そのパッシベーション効果を調べた。表面パッシベーション効果は、μ-PCD法を用いたライフタイム測定で評価した。測定されたライフタイムは、キンヒドロン濃度およびパッシベーション時間に依存した。キンヒドロン/メタノール溶液処理は、安定で表面再結合速度の小さいシリコン表面が得られることが明らかとなった。そのため、この表面パッシベーション技術は、従来のヨウ素/エタノール溶液処理に代わりうる方法として、バルクライフタイムの評価に用いることができる。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-12-13

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