300mm時代の新しい生産技術コンセプト
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概要
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半導体生産ラインの新たなコンセプトを提案する。工場方針を明確にし、この新コンセプトを全面適用した300mmウェハでの量産を世界に先駆けて開始し、その有効性を実証した。(1)枚葉処理化の推進と高速搬送技術の適用により、世界最短のサイクルタイムを実現する。(2)生産規模が小さい段階の高効率化を推進し、投資効率が高く需要に合わせてフレキシブルに拡張可能なスケーラブルなファブを展開する。
- 2001-10-09
著者
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