SC-1洗浄液中の金属不純物とパーティクル汚染
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概要
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1970年にW.Kernら(RCA社)によって提唱されたRCA洗浄液、とりわけ、アンモニア水と過酸化素水の混合液よりなるSC-1洗浄液はパーティクル除去能力に優れた洗浄液として25年にわたって使用されてきた。しかし、一方ではFe、Alに代表される金属不純物が吸着することが指摘されている。SC-1洗浄液中のコンタミネーションに関する検討において、我々は、金属不純物がウェハ表面に吸着する以外に、パーティクル汚染をも引き起こすことを見いだした。この原因は生成した金属水酸化物の作用により、薬品中や超純水中のコロイダルシリカが凝集し、パーティクルとなり、付着したものと考えられる。また、弊社が先に開発したPS-アンモニア水には、このパーティクルの付着を防止する機能を有していることがわかった。
- 1994-08-17