大粒径ポリシリコンゲートを用いた表面チャネルpMOSFETにおけるゲート酸化膜の信頼性向上
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
ゲート電極用ポリシリコンの結晶粒径がp+PMOSゲート酸化膜の信頼性に及ぼす影響を調査した。結晶粒径が0.05μmのポリシリコン膜は、ゲート酸化膜の信頼性を劣化させた。しかし、大粒径ポリシリコンを用いることで、このゲート酸化膜の低信頼性を改善出来た。更に、大粒径ポリシリコン膜は、p+ポリシリコンから基板へのB拡散と、Fによるゲート酸化膜の容量低下を抑制できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-10
著者
関連論文
- 727 溶接再現熱サイクルにおけるオーステナイト異常粒成長と TiN の溶解(加速冷却・制御圧延 (2), 厚板溶接部・高張力鋼・直接焼入れ, 材料, 日本鉄鋼協会第 110 回(秋季)講演大会)
- 大粒径ポリシリコンゲートを用いた表面チャネルpMOSFETにおけるゲート酸化膜の信頼性向上
- 360 極地向高強度海洋構造物用鋼板の製造 : 極地向海洋構造物用 YP42kgf/mm^2 鋼の開発と製造 (II)(海洋構造物用高張力鋼板, 加工・システム・利用技術, 日本鉄鋼協会第 112 回(秋季)講演大会)
- 652 低合金鋼における TiN の溶解および析出(熱間加工と組織, 制御圧延, 制御冷却, ラインパイプ, 材料, 日本鉄鋼協会第 109 回(春季)講演大会)
- 543 溶接熱サイクルにおける TiN 粒子の溶解挙動とオーステナイト粒径の関係(変態・熱処理, 材料, 日本鉄鋼協会第 108 回(秋季)講演大会)
- 359 大入熱溶接部の靱性の優れた高張力鋼板の開発 : 極地向海洋構造物 YP42kgf/mm^2 鋼の開発と製造 (I)(海洋構造物用高張力鋼板, 加工・システム・利用技術, 日本鉄鋼協会第 112 回(秋季)講演大会)