次世代ULSI製造の鍵を握るプロセス評価技術
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概要
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半導体製造技術の進歩は非常に速く、最先端技術と持囃されている。また、日本の製造技術の優越性が喧伝されていたが、米国の復活、韓国を始めとするアジア地域の最近の躍進には目を瞠るものがある。ここで日本の半導体製造技術の再生を図る一つの方法として、評価技術の面から検討を加えるた。要素技術開発のみならず、利用技術と共に発想の転換が必要なことを論及した。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-08-17
半導体製造技術の進歩は非常に速く、最先端技術と持囃されている。また、日本の製造技術の優越性が喧伝されていたが、米国の復活、韓国を始めとするアジア地域の最近の躍進には目を瞠るものがある。ここで日本の半導体製造技術の再生を図る一つの方法として、評価技術の面から検討を加えるた。要素技術開発のみならず、利用技術と共に発想の転換が必要なことを論及した。