超純水電解によるフリーラジカル発生に関する検討
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概要
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電解質を添加せずに超純水を電気分解した純水電解水は、リンス効果やパーティクル除去効果など、特有の効果を示すことが報告されている。そこで純水電解水中の活性物質を詳細に分析し、洗浄効果の要因を検討した。その結果、特に陽極側で・OHが発生することを確認した。・OHは、電解生成するオゾンや酸素、水素には依存せずに電極反応で直接生成し、洗浄効果に寄与する可能性がある。また、半導体製造プロセスで利用されているRCA洗浄処理や超音波洗浄処理における液中の活性物質の挙動を評価したところ、・OHや・H、・O_2^-の生成が認められたため、RCA洗浄や超音波洗浄についても、洗浄効果がフリーラジカルに影響される可能性がある。
- 1996-11-14