酸化亜鉛圧電膜と水晶基板を組み合わせた弾性表面波特性 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
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概要
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酸化亜鉛圧電膜(ZnO)と下地の基板とを組み合わせることで,種々の特徴あるデバイスを実現することができる.本論文では(1)ZnO膜とSTカット35°X伝搬水晶とを組み合わせることで,パワーフロー角ゼロで,大きな電気機械結合係数(k^2_s=0.01∼0.012:STカットX伝搬水晶の7∼8.5倍の値)と良好な周波数温度特性(TCF∼__1ppm/℃)をもつレイリー弾性表面波用基板の実現,(2)STカット90°X伝搬水晶とを組み合わせることで高音速で周波数温度特性の良好な漏洩弾性表面波(LSAW)の高次モードの励振の実現について報告する.
- 1999-12-25