石英ガラスのKrFレーザー照射損傷の初期過程

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
KrFエキシマレーザー照射によって誘起される石英ガラスの光学破壊の初期過程を発光スペクトル測定及び発光像、SEM観察によって調べた。レーザー・フルエンスを破壊閾値付近にまで上げていくと、レーザーパルスの繰り返し照射によってしばしば明るい局所発光の明滅が見られ、遂には光学破壊に達して非常に明るい発光へ移行する。前者はマイクロプルームによるもので、表面近傍での欠陥の生成、緩和によるものと考えられる。他方、後者は表面損傷の進行によるプルーム発光である。SEM観察から、表面損傷部には1ミクロン前後の多数のピットが生じていることがわかり、レーザーエネルギーの熱変換による局所加熱、表面近傍の粒子の蒸散が光学破壊に寄与していることがわかる。
2001-06-08

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク