工程開発・改良時の品質評価項目決定のためのシステム構築
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概要
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当社ではLSI設計ルールの微細化にあわせて、製造工程の開発が進められてきた。しかし、工程の開発、改良に携わる技術者の人数が増えるにつれ、技術者個人間の技術レベルに差が発生し、開発時の評価項目が技術者間で異なる場合が起きてきた。これは、今までの信頼性を始めとする品質評価項目の決定のノウハウが、全ての技術者に充分に伝わっていないことが原因である。対応策として、工程開発時やプロセス改良時の品質評価項目の決定に技術者間で、差が出ないように品質評価項目を決定するための手順・手法を構築した。本報告では、そのシステムの構築時の考え方及びその概要を紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-03-18