分子線蒸着法による有機超薄膜の作製と評価
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概要
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有機分子線蒸着法により、銅フタロシアニン(CuPc)とマグネシウムフタロシアニン(MaPc)をSiウェハー上に交互堆積した。各層の厚さは3.0から10.0nmである。これらの薄膜の層状構造は二次イオン質量分析法(SIMS)による深さ方向分析と透過型電子顕微鏡による断面観察により確認した。膜中分子の配向状態をフーリエ変換赤外分光法(FT-IR)により評価した。この結果。CuPc分子とMgPc分子は基板面に対して22°の角度をなすように配向していることが向かった。
- 1994-09-09