半導体技術ロードマップの最新動向
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概要
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国際半導体技術ロードマップITRS2001年版が2001年12月に公開された。前回の1999年版の刊行から2年が経過し今回大幅に改定された。本稿ではロジック・メモリ技術および配線技術を中心に改定の内容と特徴を紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-05-17
国際半導体技術ロードマップITRS2001年版が2001年12月に公開された。前回の1999年版の刊行から2年が経過し今回大幅に改定された。本稿ではロジック・メモリ技術および配線技術を中心に改定の内容と特徴を紹介する。