CMPモデルベースのダミーパターン設計システム
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概要
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CMPプロセスに伴うグローバル段差の低減のため、CMPモデルとそれに基づいた設計シスシステムを開発した。このシステムの入力データは、LSI設計の標準フォーマット(GDS II)である。また、パターン密度計算、CMPシミュレーション、グラフ出力、ダミーパターン発生が設計システムからGUIを介して連携しているため、効率的なダミーパターン設計が可能となることが分かる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-09-21