VLSI形状シミュレータにおける断面及び平面構造の同期表示

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概要

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LSI製造プロセス設計支援のために作成された形状シミュレータ(PARADAISEWORLD)はプロセスの進行に沿って断面構造の変化を高速にかつ正確に計算し表示していく機能を備えている。本論文ではこのシミュレータに新しくLSIの平面構造を計算し表示する機能モジュールを付加した。このモジュールによって断面構造と表面構造の表示を同期させており、擬似的に3Dシミュレーションを実現した。断面構造と同期をとらせるために高速な表面構造の計算が求められるので、形状計算やマスクパタンの計算に新しくビットマップ図形演算を採用した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1998-10-22

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