真空蒸着、スパッタ蒸着の光学・音響製品への応用

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概要

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• 最近,材料科学の分野で特に応用分野の広がりつつある薄膜を使った機能性製品の開発が盛んに行われている.薄膜製法の中から,真空蒸着およびスパッタ蒸着の最近の技術を紹介すると共に,応用製品として,光学用誘電体多層膜(干渉フィルター)およびイヤホン振動板用ダイヤフラムを例に挙げ成膜技術および製品特性について述べる.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1996-06-21

著者

• 竹内 哲也

  東海ゴムエ業株式会社

• 日比野 稔

  東海ゴムエ業株式会社

• 桜場 幸雄

  東海ゴムエ業株式会社

• 西 修

  東海ゴムエ業株式会社

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