緻密な誘電体酸化膜の作製と多層膜干渉フィルタの設計

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概要

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光学多層膜の特性を向上させるには、緻密に作製する事と、作製条件の微妙な変動や製膜のばらつきに大きく影響しないように設計することが必要である。緻密な膜が形成できない場合、大気中に放置したときに膜の特性が変化してしまう。また、作製時に作製パラメータであるチャンバ内の温度、圧力の微妙な変動と、膜厚のばらつきが生じることで、光学特性に影響して作製は非常に難しくなる。今回、緻密な誘電体膜の作製条件をもとめ、作製パラメータの変動や膜厚のばらつきに大きく影響されないような設計について検討した。
1994-11-17

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