圧電型センサの広帯域化について
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概要
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この研究報告は圧電型センサの広帯域化に関して、高域の拡張と低域の拡張について述べたものである。前者ではダイアフラム型のセンサを取り上げた。この振動板の機械インピーダンスは低いので音響回路との合成によって、全域での感度を落とさないで共振周波数を上げることができる。これによって、特に微小振動の検出について改善ができた。後者では圧力型の圧電セラミックマイクロホンを例にとり、機械、音響、電気の各系の注意深い設計によって1Hzまで平坦な周波数特性を得られることが判った。
- 1993-11-25