1994年IDRC報告 : AMLCDプロセス及び材料
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概要
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1994年IDRCで発表された報告の中から、アクティブマトリクスのプロセス及び材料(session1,2,7)について概要を述べる。AMプロセス関連では、エキシマレーザ及び熱結晶化による多結晶SiTFTプロセス4件、多結晶CdSe TFT1件,AM-LCD配線材料及びプロセス4件、プロセス工程数の幾何学的解析1件、画素欠陥冗長設計法1件を紹介する。AM材料関連では、液晶・配向膜材料3件、カラーフィルタ材料1件を紹介する。この中で、大型基板に対応するレーザ結晶化技術、次世代の主要製品である、大画面高精細TFT-LCDに対応する低抵抗配線関連技術が注目される。
- 1994-12-08