ランガサイトXカット板上のSAW伝搬特性の実験的検討
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概要
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Class 32 に属するランガサイト結晶 1) は水晶基板に較べると高温まで相転移がなく電気機械結合係数が大きいことから、音速が遅いにもかゝわらず注目されバルク波での実用例 2) も報告されている。しかしながらSAWの伝搬特性に関して数値解析例 3,4,5) はあるものの実験例は殆ど見当たらない。6) 本文は温度特性を中心にXカット面で実験的に調べ、常温付近で零温度係数の伝搬方位があることを見いだしたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
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