マイクロ天秤を用いたEOプローバ
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概要
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EO (electrooptic)サンプリング法は, 高速の電気信号を非接触かつ低擾乱に測定する技術であり, MMICなどの高速ICの内部測定や電子ビームテスタに代わるLSIの内部測定装置としてその実用化が進められている。本研究ではEOプローブ先端にFIB(収束イオンビーム)によりPt針を作成し高い空間分解能を得ると同時に, 水晶のエッチングにより作製したマイクロ天秤機構により高い共振周波数を得ることができた。このため, 被測定ICへの接触荷重も極めて軽く, 外部振動による測定再現性の悪化やPt針へのダメージも実用上無視する事ができるEOプローブを実現することができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
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