SFOEMによるピコ秒電気パルスの画像観察
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概要
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近年超高速の電気波形計測に走査型トンネル顕微鏡(STM)や原子間力顕微鏡(SFM)を応用する試みがなされ, 超微細, 超高速電子デバイスを評価するための新手法として期待され, 注目を集めている。今回我々はSFMをベースに開発したSFOEM (Scanning Force Optoelectronic Microscope)を用いて, coplanar strips (CPS)上を伝搬する2 ps幅の電気パルスの空間電位分布の画像化に成功したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06