原子間力制御走査型近視野顕微鏡による微細構造の観察

概要

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従来の光学顕微鏡は回折限界のために波長の1/2程度の分解能しか得られない。一方、電子顕微鏡ではナノメータレベルの分解能が得られるが、光学特性を観察することはできない。それに対し、近年研究が進んでいる走査型近視野顕微鏡(SNOM)では、回折限界を越える高分解能の光学像を観察したり、微小領域の光学特性の評価が可能になってきている。SNOMは、プローブ先端に光の波長よりも小さな微小開口を形成した光学プローブをサンプル表面に波長より小さな距離まで近づけることで近接場効果を実現している。プローブとサンプル間の距離を波長以下に保つための制御方式としては、STM、シェアフォース、エバネッセント光強度、AFMなどが用いられている。これらの距離制御技術の中でAFMは試料の導電性、光透過性にかかわらず制御可能であり、また、十分な技術的蓄積があり安定な制御法であるといえる。そこで我々は近視野での光学特性と表面形状が同時観察可能なAFM制御の走査型近視野顕微鏡(走査型近視野原子間力顕微鏡:SNAOM)を開発し、光学デバイスや生物分野もれなどへの応用の検討を行っている。本講演では、このSNOAMを用いて行った微細構造の観察やスペクトル測定などの結果について報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-03-11

原子間力制御走査型近視野顕微鏡による微細構造の観察

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