先端開放内導体を有する同軸-ラジアル変換器の解析
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概要
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半導体素子の製造過程におけるエッチング法の一つにマイクロ波(MW)プラズマエッチング法がある。このMWプラズマ装置にラジアルラインスロットアンテナ(RLSA)を用いることが提案されている。著者らは、ステップ部を有する同軸-ラジアル変換器を提案し、反射量が最小となるステップ部のサイズを明らかにした。しかし、同軸線路の内導体をラジアル導波路の上部金属板と短絡させた構造のため、ラジアル導波路内に充填するセラミックスに穴をあける必要があった。そこで、本報告では、内導体の先端を開放してセラミックスへの加工を不要とした構造について検討した。
- 1996-03-11
著者
-
広川 二郎
東京工業大学電気電子工学専攻
-
安藤 真
東京工業大学 電気電子工学専攻
-
安藤 真
東京工業大学
-
後藤 尚久
東京工業大学工学部電気電子工学科
-
広川 二郎
東京工業大学
-
岩井 浩
東京工業大学工学部
-
後藤 尚久
東京工業大学
-
岩井 浩
東京工業大学 電気電子工学科
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