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自動焦点制御のための画像処理手法の開発
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画像処理を用いた自動焦点制御は、画像計測装置の最も基本的な機能の一つである。今回、雑音成分の多い電子顕微鏡画像を対象に、自動焦点用画像処理手法を検討した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-03-27
著者
依田 晴夫
日立製作所計測器事業部
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