大気中で基板上に 20nm 径金ドットを形成 : 超高密度記録,超微細加工に新しい途

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1993-03-25

著者

• 鈴木 敬三

  電子情報通信学会

• 鈴木 敬三

  電気情報通信学会

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