半導体デバイスの放射線被曝効果
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概要
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半導体を人工飛翔体や原子力関連施設等の放射線場で使用するケースが増えている.放射線を受けたときに起こる現象,それによる劣化や誤動作について概説を行った.重要な被曝効果として格子原子のはじき出しと電離効果を考える.はじき出しによる格子欠陥の発生は,キャリヤ濃度の変動,易動度の低下,キャリヤ寿命の短縮等を起こす.電離の影響は比較的低い被曝で起こり,固定電荷による動作異常が知られている.また重荷電粒子の入射によるソフトエラーやラッチアップなどのシングルイベント効果は重大である.最後に放射線照射の有効利用について少し触れた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-25