強誘電体材料のマイクロ波,ミリ波応用
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概要
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強誘電体材料のマイクロ波特性は1960年代初頭に比較的広範囲に研究された.その後,マイクロ波帯では敬遠されてきた.しかし最近10年間薄膜技術の急速な進歩により,新しいタイプのチューナブル強誘電体薄膜デバイスが開発されている.その具体例として,バラクタ,フィルタ,フェーズシフタ,アレーアンテナのほか,集積回路用デバイスとしても実用化されている.その進歩は成膜技術基盤技術,回路設計技法の高度化によっている.強誘電体材料の発生起源と材料特性の特徴及びマイクロ波集積化受動回路に対応したデバイスの開発応用例について解説する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-07-01