CMOSデバイスシミュレーションの可能性(2.半導体デバイスに関するシミュレーション技術)(<特集>電子情報通信を支えるシミュレーション技術)
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概要
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本稿では, CMOSデバイスの微細化に伴って顕著になってきている物理現象を概要し, これをシミュレーションするツールについて, デバイスシミュレータを中心に紹介する.またデバイスシミュレータと切り離して扱えないプロセスシミュレータなどを含めたTCADツールについて, これまでの開発の延長線上では不可能な先端技術を用いた場合の要求をまとめる.この際, シミュレーションの精度と計算時間とはいつもトレードオフの関係にあり, このジレンマを解決する手段の開発に注力が注がれ始めていることを述べる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-11-25