X線リソグラフィーの開発状況
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概要
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LSIの発展を支えてきた光リソグラフィーが解像限界, コストという問題に遭遇しようとしている中で, 次代を担うことが期待されるX線リソグラフィーについて解説する.加速器からステッパに至るシステムの特徴と開発状況を述べると共に, 残された課題も記述する.ArFリソグラフィーに代表される次世代光リソグラフィーとのコスト比較や, 技術研究組合ASETで進められている関連技術開発についても触れる.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-05-25