原子レベル拡散過程の新シミュレーション手法を開発 : アルミ配線劣化のミクロ機構を解明

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1993-11-25

著者

• 上野 元治

  電子情報通信学会

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