原子分子操作のフロンティア (<特集> ミクロを創る 2.半導体-5)
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概要
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基幹産業としての半導体エレクトロニクスは,21世紀に向けて多くの難問を抱えている.技術的な問題に限ってみても,素子微細化の極限指向にどう対応するのか,明確な処方箋はない.一つの可能性として最近徐々に台頭してきたのが,原子分子からスタートして物を構築していこうとするアプローチである.本稿では,その背景をなす萌芽技術の概要を記し,エレクトロニクスばかりではなく化学産業やバイオテクノロジーを包含した共通基盤技術としての原子分子操作のフロンティアを紹介する.また,平成4年度にスタートした「アトムテクノロジープロジェクト」にも触れる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-11-25
著者
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