低磁歪と耐食性を両立した炭化物分散型ナノ結晶薄膜とその磁気ヘッドへの応用

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概要

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非晶質の結晶化によって作製されるナノ結晶Fe-Hf-C合金スパッタ薄膜は,磁気ヘッド用として優れた特性を有するが,耐食性の課題があった。従来,耐食性改善に効果のあるCrやAlの単独添加では膜の磁歪が大きくなってしまう問題があった。本研究では,SiとAlを複合添加するとともに,Si添加で非晶質化が促進された分,Hf,C濃度を半分以下の低減できたことにより,十分高い飽和磁化を確保しつつ,10^-6>以下の低磁歪と実用レベルの耐食性の両立に成功した。さらに,非磁性炭化物の濃度低減の効果により,従来の3元系の膜より優れた軟磁気特性(μ at 1MHz〜10000,Hc〜0.01Oe)の膜が得られた。この膜を用いた磁気ヘッドは,高性能を示すことが確認された。
1994-03-16

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