フェムト秒レーザを用いた三次元光導波路作製技術(<特集>導波路型光デバイス論文)
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概要
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近年, 光導波路の新しい作製技術として, 近赤外フェムト秒レーザ光を利用する方法が注目されている. 本論文では, フェムト秒レーザ光のパルス幅や平均出力, 集光レンズのNAといったパラメータが光導波路の光学特性に与える影響について評価した. これらのパラメータを最適化することで伝搬損や接続損の低減が可能であることを明らかにし, 最適化した条件を用いて波長1550nmで0.10dB/cmと非常に低い伝搬損を有する光導波路を実現した. 同様に, 上記のパラメータを変化させることで, モードフィールド径(MFD : Mode Field Diameter)の制御やMFD非対称性の抑制も可能であることも示した. 更に, 光デバイスの一例として試作した方向性結合器を多段に組み合わせた三次元構造の1×8光スプリッタにおいて, 波長1550nmで挿入の最大値13.1dBと挿入損の均一性1.2dBを実現した.
- 2005-06-01
著者
-
福田 武司
(株)フジクラ光電子技術研究所光通信研究部
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福田 武司
埼玉大
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細谷 英行
(株)フジクラ光電子技術研究所
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細谷 英行
(株)フジクラ光電子技術研究所光通信研究部
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細谷 英行
(株)フジクラ光エレクトロニクス研究所
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福田 武司
(株)フジクラ光電子技術研究所
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