シリコンウェハ表面汚染物挙動について

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概要

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• シリコンウェハ表面に求められる表面品質として、金属、パーティクルが従来から知られている。近年になり、有機物が品質項目に追加されてきている。我々は表面汚染物として、有機物、水分を取り上げ、その付着挙動について、有機物分析装置である大気圧イオン化質量分析装置を用い、解析を行った結果について述べる。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1999-04-23

著者

• 上村 賢一

  新日本製鐡株式会社先端技術研究所

• 森本 敏弘

  新日本製鐡株式会社先端技術研究所

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