放射能利用分析法による電子材料評価

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概要

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• 放射能利用分析法は, 高感度かつ正確さに優れた分析法であり, 材料のキャラクタリゼーションを進める上で重要な技術である. 本稿では放射能利用分析法のうち, 放射化分析法による電子材料評価の例として, シリコン単結晶中の不純物元素の定量, シリコン酸化膜/シリコン界面の不純物分布の決定, およびシリコン表面極微量分析法のクロスチェックについて紹介する.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1996-10-25

著者

• 加藤 正明

  Ntt基礎技術総合研究所第一プロジェクトチーム

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