ACFを用いたチップダイレクト接続技術 : LEDプリントヘッドへの適用

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概要

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• ICの多ピン化や微細ピッチ化に伴い、従来のワイヤボンド方式に代わる新しい接続方式が求められている。今回我々は、異方性導電膜(ACF)を用いた微細ピッチ接続方式を開発し、LEDプリントヘッドのLEDアレイチップと駆動ICチップの接続に適用した。本接続方式は、沖独自のセルフアラインACF供給法と2ステップ加熱法の採用により、千鳥状に配置された40μmピッチの電極同士を、微小面積で一括接続できる。本稿では、その詳細と接続状態並びに接続信頼性について報告する。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-12-11

著者

• 北山 憂子

  沖電気工業(株)研究開発本部マイクロシステム技術研究所

• 遠山 広

  沖電気工業(株)研究開発本部マイクロシステム技術研究所

• 小澤 進

  沖電気工業(株)研究開発本部マイクロシステム技術研究所

• 小澤 進

  沖電気工業

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