メモリ仮想テスタ技術と今後の展開
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概要
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半導体技術の微細化の進捗に従い、メモリ・デバイスは16Mビットから64Mビット, 256Mビットに進展し、来世紀の初頭には1Gビットが市場に出回るであろう。市場ではパソコン・メーカが中心に行われているJIT(Just In Time)での適量生産の思想から、特に、DRAMのビット単価の急激な下落を来たし、半導体不況の呈を来している。しかし、その製造技術、特に、DRAMを評価測定するテスティングについては、従来の発想に基づいた技術の関係から、その限界に来ている。本講演では、テスティング技術の一つである仮想テスタ技術、特に、メモリ仮想テスタ技術の知見から得られた自己テスト手法及び自己救済手法について述べ、適量生産時代の半導体技術/テスティング技術を考えて見たい。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-04