機械加工により薄片化した高周波圧電振動子
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概要
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直径25mm、厚み100μmの、厚み共振周波数が23MHzのチタン酸ジルコン酸鉛圧電焼結体を機械研磨によってさらに薄くし、厚み共振周波数が44MHzの、安定した振動子を作成することができた。振動子に650℃でアニールを施すことにより、機械研磨によって劣化した分極特性を回復させることができる。この振動子は反りがなく、かつ自立体として容易に取り扱えるほどの十分な強度を有する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-10-26