ジェットプリンティング法によるPZT厚膜の作製
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概要
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エアロゾル式ジェットプリンティング法でPZT微粉を基板上に堆積し, PZT厚膜を作製した。原料粉は平均粒径1.2μmの市販製品である。堆積したPZT膜は幅5mmで膜厚は数〜数10μmの範囲で制御できる。堆積したPZT厚膜の断面はSEMにより欠陥のない構造が観察されている。大気中で最高温度600℃で1 hr保持の熱処理ののち,誘電特性,耐電圧およびヒステリシス特性などを測定した。1〜4μmの厚さのPZT膜に膜厚0.1〜0.3μmのポリ尿素薄膜を蒸着重合法で積層し,絶縁破壊の低下を防止して静電容量の向上をはかった。エアロゾル式ジェットプリンティング法は,PZT厚膜の作製に有用であると期待される。
- 1996-06-21