液晶ディスプレイ用リソグラフィー技術の現状(IT革命に向けたリソグラフィー技術論文<小特集>)
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概要
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液晶ディスプレイ用露光装置は特に「生産性改善」を主眼に開発が進められてきた.その生産性改善には1)ステージ速度を高速化することによりタクトタイムを短縮する, 2)1回の露光領域を広げることにより露光回数を減少させること, 3)ガラス基板を大きくして多面取りできるようにすることである.本論文では, 新たに"スキャニング技術"と"オーバラップ技術"を組み合わせることによって800×950mmの大きなガラス基板を70秒タクトで生産できる液晶ディスプレイ用露光装置"FX-21S"について記載し, リソグラフィー技術の技術を報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-12-01