LiTa0_3基板のSHタイプ弾性表面波の光学的観測技術(弾性表面波振動計測)(<特集>光-超音波エレクトロニクス論文特集)
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概要
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弾性表面波(SAW)素子内の弾性波の強度分布を光学的に可視化する新しい技術を開発した.本技術はSH(Shear Horizontal)波がLiTaO_3結晶内に生起するひずみを,光弾性効果を介して,素子を透過する光の偏光状態変化として検知するものである.42°YX LiTa0_3上のSAWの主成分であるSH成分を検出するため,副次成分であるSV(Shear Vertical)成分を検出する従来技術と比べ,より直截に素子内における弾性波の挙動を観測することが可能である.本技術をもとに弾性波観測装置を開発し,基本的な共振器を評価した結果,IDT内の分布が駆動周波数によって異なること,特定の周波数において弾性波エネルギーが共振器外へ漏洩していることなどが明らかとなった.更に電気光学効果が観測結果に及ぼす影響を補正することで,より正確な弾性波分布を可視化することができた.また,基板の裏面からプローブ光を人射し,デバイス面からの反射光を用いることで,電極下の分布を明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-01
著者
-
若菜 伸一
株式会社富士通研究所
-
伊藤 昭夫
富士通研究所
-
松田 聡
(株)富土通研究所
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宮本 晶規
富士通研究所
-
松田 聡
富士通研究所
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若菜 伸一
富士通研究所
-
宮本 晶規
(株)富土通研究所
-
若莱 伸一
(株)富土通研究所
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