ゾル-ゲル法による有機-無機ハイブリッド光導波路の作製

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概要

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C=C二重結合を有する有機-無機ハイブリッド材料をゾル-ゲル法により調製し、それを用いた光導波路の作製方法について検討した。スピンコーティングにより、厚さ10μm以上のクラッド膜と厚さ7μm程度の厚さのコア膜を作製した。UV露光による光重合反応及びプロパノールによる化学エッチングを利用することで、コア形状が幅5〜20μm、厚さ7μmのリッジ型導波路及び埋め込み型導波路を作製した。
2002-11-22

著者

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